Tergeo-Pro等離子清洗機

一、Tergeo-Pro等離子清洗機-產品特征：

【1】大樣品室（內徑：9″/ 230mm，深度：13.4″/ 340mm）。足夠容納一個8英寸晶圓片。

【2】等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電，外部有彎曲的放電電極。

【3】連續和脈沖等離子體：脈沖比率可以從100%（連續）改變到小于1%。Tergeo等離子體系統不僅可以按1瓦的間隔調整射頻功率瓦數，還可以創造連續和脈沖等離子體。改變等離子體強度的幅度超過幾個數量級。

【4】操作方法：自動配方執行；自動工作序列執行；手動操作。

【5】等離子體傳感器：等離子體強度傳感器實時監測等離子體狀態，向用戶提供不同配方條件下等離子體強度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監測等離子體灰化過程的進展，并作為一個終點指示器。等離子體強度會實時顯示在LCD觸摸屏上。

【6】先進的過程控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流速計、等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。

【7】腔體設計：鋁制法蘭和厚壁高純度石英管提供了更強的耐化學性，減少了Pyrex玻璃中的堿性雜質（Ca, K, Na）。

【8】樣品架：4mm厚的高純度石英板，尺寸：220mmX280mm。

【9】射頻電極：外部電容耦合的射頻電極包裹著石英管。外部射頻電極的設計使等離子體體積更大、更均勻，也消除了內部金屬射頻電極設計帶來的離子濺射和加熱問題。

【10】射頻電源：13.56MHz的高頻射頻電源，具有自動阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇。150瓦、300瓦和500瓦，頻率為13.56MHz。射頻功率可以以1瓦的間隔調整。與低效低成本的KHz電源相比，13.56MHz射頻電源產生的等離子體密度要高得多。

【11】氣體輸入：多達三路MFC控制的氣體輸入（0~100sccm）。一個額外的端口用于通風和吹掃。?英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

【12】用戶界面：7英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，不需要手寫筆。

【13】程序配方和工作支持：總共有20個可定制的配方。工作順序中最多有三個清洗步驟。

二、Tergeo-Pro等離子清洗機-典型應用：

【1】光刻膠灰化、除膠、硅片清洗；

【2】焊線前的芯片清洗，倒裝芯片底層填充，PCB去污；

【3】生物醫學涂層前的表面處理，提高醫療植入物的親水性；

【4】環氧樹脂粘接前的光學器件、玻璃、纖維頭和基材清洗；

【5】PDMS、微流控芯片、玻璃片和芯片上的實驗室；

【6】提高金屬與金屬或復合材料的粘合度；

【7】提高塑料、聚合物和復合材料的粘接性；

芯片和 PCB 引線鍵合和倒裝芯片鍵合前的等離子清洗

三、Tergeo等離子清洗機-產品優勢：

【1】外部電極的設計提高等離子體的均勻性；

【2】*的等離子體傳感器技術，用于定量的等離子體強度測量；

【3】直接/浸入模式和遠程/下游等離子體處理模式在一個系統中的應用；

【4】連續和脈沖等離子體可以改變3-4個數量級的清洗速度；

【5】高頻13.56MHz rf電源，具有自動阻抗匹配功能。在相同的額定射頻功率下，MHz等離子體系統的效率比KHz等離子體系統高很多倍；

【6】先進的過程控制技術；

【7】質量流量控制器(MFC)調節氣體輸入，而不是手動轉子流量計或粗針閥；

【8】先進的數字壓力傳感器用于精確的壓力監測；

【9】全自動化操作，支持20種程序配方；

【10】直觀的電阻式觸摸屏用戶界面；

【11】外部射頻電極和石英室可以消除內部金屬電極的等離子體系統的金屬污染問題；